产品属性

匀胶显影多功能湿法台(YJXY系列)

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产品介绍

设备应用场景:

● 通过湿法清洗、腐蚀等工艺实现光刻胶的显影、样品的清洗微纳结构的图形化腐蚀等功能,并兼具光刻胶的旋涂和烘烤功能。


设备技术特点:

● 集成多种功能

● 多种化学品应用

● 模组化设计



技术优势:

● 量身定制,占地面积小,合理使用洁净间区域

设备集成多种功能,机台使用率高

设备自动配液、供液,自动供液种类≥3种

显影均匀性≤5%,烤胶表面温度均匀性:±1%

可储存100组烤胶配方,每个配方可设置大于五个加热阶段,加热时间和顶针高度可调

设备配备多种传感器,精确显示温度、液位、药液使用等情况



设备应用场景:

● 通过湿法清洗、腐蚀等工艺实现光刻胶的显影、样品的清洗微纳结构的图形化腐蚀等功能,并兼具光刻胶的旋涂和烘烤功能。


设备技术特点:

● 集成多种功能

● 多种化学品应用

● 模组化设计



技术优势:

● 量身定制,占地面积小,合理使用洁净间区域

设备集成多种功能,机台使用率高

设备自动配液、供液,自动供液种类≥3种

显影均匀性≤5%,烤胶表面温度均匀性:±1%

可储存100组烤胶配方,每个配方可设置大于五个加热阶段,加热时间和顶针高度可调

设备配备多种传感器,精确显示温度、液位、药液使用等情况