产品属性

槽式湿法刻蚀清洗设备

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产品介绍

设备应用场景:

● 主要用于微通道板清洗,去除微通道板表面有机物、氧化层、颗粒、金属等。


设备配置:

● 支持化学液定制

● 自动进液、补液

● 加热控制,流量控制,压力控制等

● 槽体过温保护,各单元配置漏液传感器

● 支持化学液回收

● 药液排空有槽体清洗功能

● 完善的报警和保护设计



江苏英思特半导体科技有限公司专注半导体湿法设备,欢迎咨询:18012895988(缪经理)

设备应用场景:

● 主要用于微通道板清洗,去除微通道板表面有机物、氧化层、颗粒、金属等。


设备配置:

● 支持化学液定制

● 自动进液、补液

● 加热控制,流量控制,压力控制等

● 槽体过温保护,各单元配置漏液传感器

● 支持化学液回收

● 药液排空有槽体清洗功能

● 完善的报警和保护设计



江苏英思特半导体科技有限公司专注半导体湿法设备,欢迎咨询:18012895988(缪经理)