产品属性

槽式湿法刻蚀清洗设备(YTM系列)

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产品介绍

设备应用场景:

● 实现4/6/8寸晶圆研磨、刻蚀、返工后等集成电路制造工艺的最终清洗


设备技术特点:

●自动化作业

稳定性高,清洗效果好

药液可回收

实时监控、实时信息传输

较高的安全性



技术优势:

圆形台面设计,标准化独立模块设置,占地面积小

配备自动供液功能,亦能兼容厂务供液系统。

供液泵组,伺服控制,精确计量,精准配液。

自动上下料装置,配合实验室机器人完成相应工序

自动作业,自动过程控制工艺、干燥作业的湿法工艺解决方案

配备全自动六轴机械臂以及实时监控系统

支持化学液回收,节能环保




设备应用场景:

● 实现4/6/8寸晶圆研磨、刻蚀、返工后等集成电路制造工艺的最终清洗


设备技术特点:

●自动化作业

稳定性高,清洗效果好

药液可回收

实时监控、实时信息传输

较高的安全性



技术优势:

圆形台面设计,标准化独立模块设置,占地面积小

配备自动供液功能,亦能兼容厂务供液系统。

供液泵组,伺服控制,精确计量,精准配液。

自动上下料装置,配合实验室机器人完成相应工序

自动作业,自动过程控制工艺、干燥作业的湿法工艺解决方案

配备全自动六轴机械臂以及实时监控系统

支持化学液回收,节能环保