产品属性

单工位湿法刻蚀清洗设备

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产品介绍

设备应用场景:

●对晶圆产品进行快速刻蚀


设备技术特点:

模组化设计

优化的传送机构

较高的工作效率

较高的稳定性

较高的安全性



技术优势:

设备实现自动作业,自动过程控制工艺、干燥作业的湿法工艺解决方案

标准化独立模块设置,占地面积小

高速传输系统, 良好的chamber匹配

支持化学液回收,节能环保

药液槽有清洗时间及清洗次数计次,用于计算药液寿命

完善的报警和保护设计

实时记录生产数据,多种数据分析功能


江苏英思特半导体科技有限公司专注半导体湿法设备,欢迎咨询:18012895988(缪经理)


设备应用场景:

●对晶圆产品进行快速刻蚀


设备技术特点:

模组化设计

优化的传送机构

较高的工作效率

较高的稳定性

较高的安全性



技术优势:

设备实现自动作业,自动过程控制工艺、干燥作业的湿法工艺解决方案

标准化独立模块设置,占地面积小

高速传输系统, 良好的chamber匹配

支持化学液回收,节能环保

药液槽有清洗时间及清洗次数计次,用于计算药液寿命

完善的报警和保护设计

实时记录生产数据,多种数据分析功能


江苏英思特半导体科技有限公司专注半导体湿法设备,欢迎咨询:18012895988(缪经理)