设备应用场景:
●对晶圆产品进行快速刻蚀
设备技术特点:
●模组化设计
●优化的传送机构
●较高的工作效率
●较高的稳定性
●较高的安全性
技术优势:
●设备实现自动作业,自动过程控制工艺、干燥作业的湿法工艺解决方案
●标准化独立模块设置,占地面积小
●高速传输系统, 良好的chamber匹配
●支持化学液回收,节能环保
●药液槽有清洗时间及清洗次数计次,用于计算药液寿命
●完善的报警和保护设计
●实时记录生产数据,多种数据分析功能
江苏科技有限公司专注半导体湿法设备,欢迎咨询:18012895988(缪经理)
设备应用场景:
●对晶圆产品进行快速刻蚀
设备技术特点:
●模组化设计
●优化的传送机构
●较高的工作效率
●较高的稳定性
●较高的安全性
技术优势:
●设备实现自动作业,自动过程控制工艺、干燥作业的湿法工艺解决方案
●标准化独立模块设置,占地面积小
●高速传输系统, 良好的chamber匹配
●支持化学液回收,节能环保
●药液槽有清洗时间及清洗次数计次,用于计算药液寿命
●完善的报警和保护设计
●实时记录生产数据,多种数据分析功能
江苏科技有限公司专注半导体湿法设备,欢迎咨询:18012895988(缪经理)