引言
通过RCA清洁清洗硅晶片，获得稳定的性能，温度控制是重要的，困难主要是因为RCA溶液暴露非线性和时间变化的放热化学反应。到目前为止，利用CAN2（竞争关联网2）开发了MSPC（模型切换预测控制器），并验证了其有效性。然而，我们观察到，当使用多个CAN2单元时，控制性能，并不总是随着学习迭代次数的增加而提高。因此，我们将集成学习方案应用于CAN2，以稳定控制学习迭代，并通过计算机仿真验证了该方法的有效性。【设备】【设备】【】【晶圆清洗设备制造】
实验与讨论
由于RCA清洗程序采用腐蚀性有害化学溶液，如SPM（硫酸、硫酸、过氧化氢、过氧化氢、混合物）等，如图1所示，其中有溶液浴、波纹管泵、红外（IR）加热器、清洗过滤器，由防腐再循环管连接，热传感器用防腐玻璃管覆盖。因此，该系统涉及到长时间和波动的时间滞后和延迟，并且溶液的混合暴露了几个非线性和时变的放热反应。【晶圆清洗设备制造厂家】【rca清洗设备】【马兰戈尼干燥设备】【兆声清洗设备】
图1：硅片RCA清洗系统示意图
图2：CAN2的原理图
英思特用参数值为SPM的模型RCA系统来检验了目前的方法，初始温度将θB=120[◦C]设置为t = 0 [s]，这也使控制更加困难，设定点为135[◦C]，允许误差为±2[◦C]。等式的输入向量x (j)的维数(2)是k = 4，其中ky = 2和ku = 1。由于采样周期为T = 0.25 [s]，因此CAN2的训练数据数量约为n = 32,000 = 8,000/0.25。【湿法刻蚀设备】【晶圆清洗设备】【KOH腐殖清洗机】【全自动晶圆清洗机】【RCA清洁设备】
结论
在实际工厂中，RCA清洗反复清洗许多硅片，其中系统动态根据环境条件变化，如房间的湿度和温度，管道中剩余的溶液的数量等，在当前系统中无法精确控制。为了更好地克服这个问题并节省成本，英思特为CAN2使用几个单元来学习不同环境条件下的不同动态。【马来西亚戈尼干炎装备】【兆声清洗】【湿法刻蚀】
准确地说，当我们应用到实际的RCA系统时，我们将在学习模型系统模拟得到的数据后使用CAN2，模型系统的参数值根据实际系统的可变性进行不同的设置。英思特引入了CAN2集成，通过增加控制和学习迭代来提高控制性能的稳定性。【】【湿法设备制造厂家】【rca清洗设备】【英思特半导体】【英思特】
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