引言
磷酸是一种主要的工业化学品。它遵循硫酸和硝酸的重要性和吨位生产。磷酸作为商业级、技术级、超磷酸级和食品级供应。商户等级为40-60%的酸浓度，可能含有氯离子和氟离子。技术等级定义为>85%的酸浓度。超磷酸的酸浓度为105%。食品等级为75-85%的酸浓度，含有<15 ppm氯和<1 ppm氟化物。【设备】【设备】【】
它是一种中等强度的无机酸，比乙酸强，但比硫酸和盐酸弱。它可以直接通过在水中吸收五氧化二磷（P2 O5）产生（在这种情况下很少有污染物），或作为用硫酸消化磷岩的污染产品，其中含有杂质，如氟化物和氯化物，显著增加其腐蚀性。氧化化合物，如铁盐和铜盐，也可能会影响腐蚀。【晶圆清洗设备制造】【晶圆清洗设备制造厂家】【】
实验
在湿法过程中，磷酸岩被压碎，并与硫酸/磷酸混合物反应，形成稀释的、不纯的磷酸（H3磷酸盐）。以这种方式产生的酸含有大量来自磷酸岩中的杂质。一些对腐蚀有显著影响的工艺杂质有氯化物、氟化物（主要是氟硅酸）、硫酸和氧化阳离子（如铁离子和铜离子）。【晶圆清洗设备】【兆声清洗设备】【湿法刻蚀设备】【晶圆清洗设备】【晶圆清洗设备制造】
由于磷酸是钠、钙和硅酸盐的浓缩化合物，可沉淀，减少腐蚀，但损害传热。残留的氟在较高的浓度和温度下会加剧腐蚀。如果存在铁、铝和镁，则与游离残留的氟形成配合物，从而降低其腐蚀性。通常，镁被故意添加在超磷酸的生产中，并已被证明是一种有益的抑制剂。【晶圆清洗设备制造厂家】【rca清洗设备】【】【兆声清洗设备】
结果和讨论
图1.在100°C（212°F）（70%H3磷酸盐+ 4% H2硫酸盐+ 0.45%Fe3+）下对各种合金耐腐蚀性的影响
溶液中的铜离子和铁离子抑制了不锈钢在硫酸中的腐蚀。铜含量的提高对其耐腐蚀性的影响是明显的。氯化物和氟化物也发生对高合金不锈钢的有害影响，如图4所示。在这些不锈钢中，合金28（N08028）在暴露于氯和氟污染磷酸的联合作用时表现出最高的抗性。合金最初是被开发出来用于制造磷酸的。这一观察结果得到了实际的工厂设备服务经验的支持。对增加的硫酸浓度（8%而不是2%）进行了额外的测试。在80°C下，合金 和 具有良好的耐腐蚀性。然而，在110°C时，没有一种被测试的合金表现良好。【湿法刻蚀设备】【晶圆清洗设备】【KOH腐殖清洗机】【】
结论
由于原料和岩石杂质的许多差异，以及许多工艺差异和控制氟、金属成分和沉淀的各种方法，因此不可能推广合金的选择来涵盖条件下的所有变化。我们将只提出一般性的意见。大部分湿法酸系统是由钢衬橡胶，以抵抗酸腐蚀。有时在撞击和磨损是一个因素的地方增加耐酸砖。橡胶衬里应用于许多大型容器，如澄清器、增稠器罐、反应器、分离室、通风管道和输送管道。【RCA清洁设备】【】【】【全自动晶圆清洗机】【晶圆清洗设备】
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