引言
清洁是许多电子制造过程中不可或缺的一部分,通常对广泛技术的性能至关重要,是指使用溶剂、酸或碱等试剂去除不需要的微粒和其他污染物。它还指制造中使用的蚀刻工艺,其中“清洁”是精确去除薄层材料。幸运的是,现在存在范围广泛的湿法工艺设备自动化,可以更灵活地满足特定的清洁要求。修改这些自动清洁工具以适应应用可以经济高效地提高过程的可重复性、吞吐量和安全性。在许多情况下,只需对标准设备进行少量定制即可。【】【】
清洁过程自动化的好处
采用自动化清洁流程的公司通常这样做是为了提高流程的可重复性、生产量或安全性制造各种手动到全自动清洁设备,包括具有完整交钥匙清洁过程所需的所有功能和传输设备的专有系统。精确重复清洁过程的能力对于保持质量至关重要。这包括清洁剂和漂洗溶液的精确测量和分配,以及将清洁物品从一个浴槽运输到另一个浴槽所需的系统和工具。【晶圆清洗设备制造】【晶圆清洗设备制造厂家】【半导体】【】
当然,自动化清洁过程可以提高大批量生产的生产量。如果该过程在洁净室中进行,则整个系统(包括电机和机器人)必须适合该环境。
由于生产可能涉及在热罐上方或化学浴附近移动产品,因此自动化也可以提高安全性。同样,它可以改善生产人体工程学,例如,操作员无需反复旋转或处理正在加工的零件,从而减少受伤的可能性。【设备】【晶圆清洗设备】【】【】
图1。自动化设备
全自动工作站
半自动到全自动多任务清洁站通常使用至少四个浴槽。这些站点可以根据需要通过机器人在浴池中取放产品,同时遵循预编程的配方序列。然而,站点通常需要修改才能有效地运行。为了允许修改,提供了多种自动化平台,可以适应各种空间限制。还可以通过使用正面或侧面装载的前部、后部或高架机器人来为特定任务定制装载。可选的转盘可实现符合人体工程学的侧面装载,以及便于维护的后部通道。【湿法制程】【】【RCA清洁设备】【】
图2。固定在水箱上
特殊自动化项目
当特殊项目需要对晶圆、光学器件、磁盘驱动器、平板和其他精密部件进行自动清洁和剥离时,可以使用在完全独立、干对干的基础上运行的设备。一旦将产品放入干燥罐中,该装置就可以通过单个或多个化学过程进行处理,根据预先编程的配方进行冲洗和干燥,无需操作员干预或机械运动部件进行维护。【全自动晶圆清洗机】【晶圆清洁设备】
江苏英思特半导体科技有限公司主要从事湿法制程设备,晶圆清洁设备,,KOH腐殖清洗机等设备的设计、生产和维护,联系人吴经理,联系电话18014374656(微信同号)